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SENTECH臺式薄膜探針反射儀FTPadv通過選擇合適的配方,FTPadv反射儀以小于100ms的測量速度、精度小于0.3nm、厚度范圍為50nm-25μm的精度進行厚度測量。
RM1000反射膜厚儀反射膜厚儀RM 1000和RM 2000測量具有光滑或粗糙表面的平坦或彎曲樣品的反射率。利用SENTECH FTPadv Expert軟件計算單層或層疊膜的厚度、消光系數和折射率指數。在紫外-可見光- 近紅外光譜范圍內,可以分析5nm~50μm厚度的單層膜、層疊膜和基片。
安科瑞泰SE500adv橢偏反射儀SE 500adv結合了橢偏儀和反射儀,除了測量透明膜層厚度的模糊性。它把可測量的厚度擴展到25m,因此SE 500adv擴展了標準激光橢偏儀SE 400adv的能力,特別適用于分析較厚的介質膜、有機材料、光阻、硅和多晶硅薄膜。
安科瑞泰SE400adv激光橢偏儀我們的激光橢偏儀SE 400adv的高速測量速度使得用戶可以監控單層薄膜的生長和終點檢測,或者做樣品均勻性的自動掃描。
自動光譜橢偏儀SENDUROSENDURO® 可測量透明和反射基片上單層薄膜和層疊膜的折射率和厚度。SENDURO® 自動掃描則實現了較高的樣品速度,化安裝工作量和低的維護成本。該光譜橢偏儀的自動掃描具有預定義或用戶定義的模式、允許廣泛的統計特性和數據圖形顯示。
安科瑞泰SENDIRA紅外光譜橢偏儀橢偏振動光譜 利用紅外光譜中分子振動模的吸收帶,可以分析薄膜的組成。此外,載流子濃度可以用傅立葉紅外光譜儀FTIR測量。
安科瑞泰SENpro光譜橢偏儀光譜橢偏儀SENpro具有操作簡單,測量速度快,能對不同入射角的橢偏測量數據進行組合分析等特點。光譜范圍為370到1050 nm。SENpro的光譜范圍與精密的SpectraRay/4軟件相結合,可以輕易地確定單層膜和復合層疊膜的厚度和折射率。
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